金融界2025年7月25日消息,国家知识产权天富注册链接局信息显示,东友精细化工有限公司申请一项名为“清洁组合物及使用其形成光致抗蚀剂图案的方法”的专利,公开号CN120365991A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,根据本发明的实施方式的清洁组合物包括醇溶剂和有机金属化合物,其中基于组合物的总重量,有机金属化合物的含量大于0且为5ppb以下。有机金属化合物抑制了诸如醛和酮的杂质的产生,从而减少了半导体和显示器的制造过程中缺陷的出现并提高了良率。